工作在10-5Pa以上的超高真空机组有扩散泵、分子泵超高真空机组和无油超高真空机组.该机组有如下特点:
①主泵极限真空度高，在10-7~10-8pa以上;
②能经受200~450℃的高温烘烤;
③主泵返流气体的分压力很低;
④对被抽气体选择性强的主泵，要配备足够大的辅助泵;
⑤要求真空室、管道、阀门等部件的材料出气率很低，漏气率很小。
(1)扩散泵超高真空机组
以扩散泵为主泵的超高真空机组的极限真空度为10-7~10-8Pa。
为减少来自扩散泵前级的气体反扩散和阻挡机械泵油的反扩散对极限真空度的影响，可在扩散泵前级申联一台抽速小的扩散泵，以降低压缩比，减小反扩散。如在扩散泵进气口上边增设钛升华阱，可进一步降低来自扩散泵的氮气分压力，能获得10-11Pa的超高真空。
(2)分子泵超高真空机组
以分子泵为主泵的超高真空机组其极限真空度为10-8Pa，特点是启动快，油的污染小。
在机组内增加液氮冷阱，可以增大抽速�；当贸隹诖ι栌兴溱�，可以防止油蒸气进入系统。
(3)无油超高真空机组
不用油做工作液和不用有机材料密封的真空机组称为无油超高真空机组。常用的主泵有低温泵、钛泵、溅射离子泵等，可得到极限真空度10-7~10-8Pa。与有油真空机组比较，它有如下优点:
①可获得清洁真空、无污染源;
②当无油真空泵启动后，即可隔离预抽泵;
③如突然抽气停止，不会污染系统;
④无油、无声、无振动，改善了工作环境;
⑤极限真空度高，抽速大，抽气时间短。
